太阳能电池篇 开拓新领域,提高柔性产品耐久性

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太阳能电池篇 开拓新领域,提高柔性产品耐久性

日立化成开发出了可进行SiN蚀刻的浆料.利用丝网印刷浆料后,加热并清洗可去除SiN.计划用于太阳能电池和MEMS的制造工序等. 在结晶硅型太阳能电池的制造工序中,通常要在硅晶圆的受光侧用SiN形成防反射膜.而且在该防反射膜上形成Ag电极后,还要进行"F

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